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第107节（第2页）

&esp;&esp;水木大学?的教授研发出光刻机双工作台这?一消息传出，成为业界一剂振奋剂，为萎靡不振的华国半导体?产业注入一点蓬勃的力量。

&esp;&esp;五月底，蓝河科技实验室内，光源系统进入验收阶段。

&esp;&esp;与春城光机所合作，由春城光机所入股的国科精密提供的光学?系统（一系列精密镜头、反射镜和透镜等光学?元件系统），在此光学?系统的基础上进行光源系统的实验验收。

&esp;&esp;盛明安担任该光源系统总工程师，左手旁是程院长，右手是陈惊璆，身?后分别是雷客一行人以及程院长带来?的研发团队。

&esp;&esp;原本光源系统研发进程没这?么快，但有了程院长的研发团队便如虎添翼，进程迅速缩短一半。

&esp;&esp;现?在正是光源系统的验收时刻，不是在电脑软件上运行的仿真?建模，而是真?实设备的光源系统实验验收阶段！

&esp;&esp;雷客紧张的吞咽口水，眼角余光瞥见杜颂这?家伙紧张得手臂打摆！

&esp;&esp;真?没出息！

&esp;&esp;他这?么想着，浑然不知道自?己的表现?也好不到哪去。

&esp;&esp;在场估计没人不紧张，哦，盛明安除外?，任何重大科学?工程验收阶段，他都表现?得非常淡定?，好像一个局外?人，让人即羡慕又?嫉妒。

&esp;&esp;程院长看了眼右边的电子表，此刻时间是19点42分31秒。

&esp;&esp;他轻声说?：“开始吧。”

&esp;&esp;顿了顿，程院长说?：“盛工，你来?吧。”

&esp;&esp;“唔？”盛明安有点诧异，老实说?程院长无论资历还是辈分都比他高几轮，被长辈喊‘盛工’、谦让，他不太好意思：“您喊我?名字就行。光源系统的研发也有您的一份力，还是您来?。”

&esp;&esp;程院长摆摆手笑着拒绝：“我?这?辈子扛过不少科学?大工程的验收阶段，不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说?光源系统主要是你一手策划完成，我?只是个半路杀出的辅助，行了别推辞，再推让下去该下班了。”

&esp;&esp;行吧。盛明安点点头，示意身?后研发团队各就各位，紧盯前方全套的光源系统设备，沉着冷静的说?：“开始验收。准备——”

&esp;&esp;“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”

&esp;&esp;“靶材装置确定?装载完毕。”

&esp;&esp;“电源确定?。”

&esp;&esp;“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

&esp;&esp;“……”

&esp;&esp;接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情?。

&esp;&esp;“启动二氧化碳脉冲激光器！”

&esp;&esp;话音一落，盛明安按下开关按钮，众人抬头看向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质的机械美。

&esp;&esp;机械表面很平静，盛明安等人看不到内部正在发生的变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率一秒五万次！

&esp;&esp;盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。

&esp;&esp;视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。

&esp;&esp;突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外?扩张，由圆点扩张成椭圆形，光越来?越盛、越来?越亮，猛然爆发出闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长发亮的紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……

&esp;&esp;最终击中直径30μ的靶材料（锡液滴）。

&esp;&esp;视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现?数以万计的紫色细长光线穿过一个又?一个圆形长管最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原子，释放等离子体?，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

&esp;&esp;视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

&esp;&esp;激光经过多?重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体?。

&esp;&esp;接下来?是利用收集镜收集等离子体?发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。

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